Sistemi ta' berings tal-arja tal-granit jintużaw ħafna fiultra-preċiżjonipjattaformi ta' moviment għall-manifattura ta' semikondutturi, allinjament ottiku, u metroloġija fuq skala nanometrika.
Dawn is-sistemi jeliminaw il-kuntatt mekkaniku billi jużaw film irqiq ta' arja bi pressjoni, u b'hekk jiksbu moviment ta' frizzjoni kważi żero.
Prinċipju tal-Bearing tal-Arja
Il-bearings tal-arja joperaw billi jintroduċu arja kkompressata bejn żewġ uċuħ, u jiffurmaw film tal-arja ta' 2–20 μm.
Dan jelimina:
- Frizzjoni mekkanika
- Ilbes
- Imġieba ta' stick-slip
Is-sistema tiddependi fuq id-dinamika tal-film fluwidu u l-fluss laminari stabbli.
Ir-Rwol tal-Granit
Il-granit jipprovdi:
- Stabbiltà strutturali
- Soppressjoni tad-drift termali
- It-tnaqqis tal-vibrazzjoni
Dan iservi bħala l-bażi ta' referenza mekkanika għas-sistema tal-moviment.
Komponenti tas-Sistema
- Bażi tal-granit
- Kuxxinetti tal-berings tal-arja
- Sistema tal-provvista tal-arja
- Enkodifikaturi ta' preċiżjoni
- Sistema ta' kontroll tal-moviment
Karatteristiċi tal-Prestazzjoni
Il-prestazzjoni tipika tinkludi:
- Preċiżjoni tal-pożizzjonament sub-mikron
- Dritt għoli fuq vjaġġar twil
- Żero backlash mekkaniku
Sorsi ewlenin ta' żbalji jinkludu instabbiltà tal-pressjoni tal-arja, drift termali, u żball tal-encoder.
Applikazzjonijiet
- Spezzjoni tal-wejfer tas-semikondutturi
- Sistemi tal-litografija
- Pjattaformi ta' allinjament ottiku
- Magni tal-metroloġija ta' kwalità għolja
Mistoqsijiet Frekwenti
Il-bearings tal-arja jintlibsu?
L-ebda kuntatt mekkaniku ma jelimina l-użu.
Għaliex tuża l-granit?
Għall-istabbiltà u t-tnaqqis tal-vibrazzjonijiet.
X'jillimita l-eżattezza?
Stabbiltà tal-arja u effetti termali.
Jistgħu jġorru tagħbijiet tqal?
Iva, skont id-disinn.
Ħin tal-posta: 03 ta' Lulju 2026