Fil-ħolqa ewlenija tal-manifattura taċ-ċippa - l-iskannjar tal-wejfers, l-eżattezza tat-tagħmir tiddetermina l-kwalità taċ-ċippa. Bħala komponent importanti tat-tagħmir, il-problema tal-espansjoni termali tal-bażi tal-magna tal-granit ġibdet ħafna attenzjoni.
Il-koeffiċjent tal-espansjoni termali tal-granit ġeneralment ikun bejn 4 u 8×10⁻⁶/℃, li huwa ħafna inqas minn dak tal-metalli u l-irħam. Dan ifisser li meta t-temperatura tinbidel, id-daqs tiegħu jinbidel relattivament ftit. Madankollu, għandu jiġi nnutat li espansjoni termali baxxa ma tfissirx li m'hemm l-ebda espansjoni termali. Taħt varjazzjonijiet estremi fit-temperatura, anke l-iċken espansjoni tista' taffettwa l-eżattezza nanoskala tal-iskannjar tal-wejfers.
Matul il-proċess tal-iskannjar tal-wejfer, hemm diversi raġunijiet għall-okkorrenza ta' espansjoni termali. Il-varjazzjonijiet fit-temperatura fil-garaxx, is-sħana ġġenerata mill-operazzjoni tal-komponenti tat-tagħmir, u t-temperatura għolja istantanja li ġġib magħha l-ipproċessar bil-lejżer kollha jikkawżaw li l-bażi tal-granit "tespandi u tiċkien minħabba l-bidliet fit-temperatura". Ladarba l-bażi tgħaddi minn espansjoni termali, id-drittezza tal-binarju gwida u l-flatness tal-pjattaforma jistgħu jiddevjaw, u jirriżultaw f'trajettorja ta' moviment mhux preċiża tal-mejda tal-wejfer. Il-komponenti ottiċi ta' appoġġ ukoll jiċċaqalqu, u jikkawżaw li r-raġġ tal-iskannjar "jiddevja". Li taħdem kontinwament għal żmien twil jakkumula wkoll żbalji, u jagħmel il-preċiżjoni agħar u agħar.
Imma tinkwetax. In-nies diġà għandhom soluzzjonijiet. F'termini ta' materjali, se jintgħażlu vini tal-granit b'koeffiċjent aktar baxx ta' espansjoni termali u jiġu soġġetti għal trattament ta' tixjiħ. F'termini ta' kontroll tat-temperatura, it-temperatura tal-garaxx hija kkontrollata b'mod preċiż għal 23±0.5℃ jew saħansitra inqas, u se jiġi ddisinjat ukoll apparat attiv ta' dissipazzjoni tas-sħana għall-bażi. F'termini ta' disinn strutturali, jiġu adottati strutturi simmetriċi u appoġġi flessibbli, u l-monitoraġġ f'ħin reali jitwettaq permezz ta' sensuri tat-temperatura. L-iżbalji kkawżati mid-deformazzjoni termali huma kkoreġuti b'mod dinamiku permezz ta' algoritmi.
Tagħmir ta' kwalità għolja bħal magni tal-litografija ASML, permezz ta' dawn il-metodi, iżomm l-effett ta' espansjoni termali tal-bażi tal-granit f'medda estremament żgħira, u b'hekk jippermetti li l-preċiżjoni tal-iskannjar tal-wejfer tilħaq il-livell tan-nanometru. Għalhekk, sakemm tkun ikkontrollata kif suppost, il-bażi tal-granit tibqa' għażla affidabbli għat-tagħmir tal-iskannjar tal-wejfer.
Ħin tal-posta: 12 ta' Ġunju 2025