Il-granit ilu materjal użat komunement fl-industrija tas-semikondutturi għall-proprjetajiet mekkaniċi eċċellenti tiegħu, l-istabbiltà termali, u l-koeffiċjent baxx ta' espansjoni termali. Madankollu, bid-domanda dejjem tikber għal preċiżjoni u produttività ogħla, materjali alternattivi ħarġu bħala għażliet vijabbli għall-fabbrikazzjoni ta' komponenti ta' tagħmir semikondutturi. F'dan l-artikolu, se nesploraw xi wħud mill-materjali alternattivi għall-partijiet tal-granit fit-tagħmir semikondutturi u nqabblu l-vantaġġi u l-iżvantaġġi tagħhom.
Materjali Alternattivi għal Partijiet tal-Granit
1. Materjali taċ-ċeramika tal-ħġieġ
Materjali taċ-ċeramika tal-ħġieġ, bħal Zerodur u Cervit, kisbu użu mifrux fl-industrija tas-semikondutturi minħabba l-koeffiċjent baxx ta' espansjoni termali tagħhom, li huwa qrib dak tas-silikon. Konsegwentement, dawn il-materjali jistgħu jipprovdu stabbiltà termali aħjar u preċiżjoni mtejba fil-proċess ta' fabbrikazzjoni tas-semikondutturi. Zerodur, b'mod partikolari, għandu grad għoli ta' omoġenjità u stabbiltà, li jagħmilha adattata għall-manifattura ta' tagħmir litografiku.
Vantaġġi:
- Koeffiċjent baxx ta' espansjoni termali
- Preċiżjoni u stabbiltà għolja
- Adattat għal applikazzjonijiet ta' temperatura għolja
Żvantaġġi:
- Spiża ogħla meta mqabbla mal-granit
- Relattivament fraġli, jista' joħloq sfidi fil-magni u l-immaniġġjar
2. Ċeramika
Materjali taċ-ċeramika, bħall-ossidu tal-aluminju (Al2O3), il-karbur tas-silikon (SiC), u n-nitrur tas-silikon (Si3N4), għandhom proprjetajiet mekkaniċi eċċellenti, reżistenza għat-temperatura għolja, u koeffiċjent baxx ta' espansjoni termali. Dawn il-proprjetajiet jagħmlu ċ-ċeramika ideali għal partijiet ta' tagħmir semikondutturi li jeħtieġu stabbiltà u preċiżjoni termali għolja, bħal stadji tal-wejfer u mandrini.
Vantaġġi:
- Stabbiltà u saħħa termali għolja
- Koeffiċjent baxx ta' espansjoni termali
- Reżistenza għolja għall-użu u inerzja kimika
Żvantaġġi:
- Jista' jkun fraġli u suxxettibbli għall-qsim, speċjalment waqt il-magni u l-immaniġġjar
- Il-magni u l-illustrar taċ-ċeramika jistgħu jkunu ta’ sfida u jieħdu ħafna ħin
3. Metalli
Materjali bbażati fuq il-metall, bħall-azzar inossidabbli u t-titanju, intużaw għal xi partijiet ta' tagħmir semikondutturi minħabba l-makinabilità eċċellenti u s-saħħa għolja tagħhom. Dawn huma komunement użati f'applikazzjonijiet fejn mhijiex meħtieġa stabbiltà termali għolja, bħal partijiet tal-kamra, akkoppjar, u feedthroughs.
Vantaġġi:
- Makkinabilità u weldjabbiltà tajba
- Saħħa għolja u duttilità
- Spiża baxxa meta mqabbla ma' xi wħud mill-materjali alternattivi
Żvantaġġi:
- Koeffiċjent għoli ta' espansjoni termali
- Mhux adattat għal applikazzjonijiet f'temperatura għolja minħabba kwistjonijiet ta' espansjoni termali
- Suxxettibbli għall-korrużjoni u l-kontaminazzjoni
Konklużjoni:
Fil-qosor, filwaqt li l-granit kien għażla popolari għal partijiet ta' tagħmir semikondutturi, ħarġu materjali alternattivi, kull wieħed b'vantaġġi u żvantaġġi uniċi. Il-materjali taċ-ċeramika tal-ħġieġ huma preċiżi ħafna u stabbli iżda jistgħu jkunu fraġli. Iċ-ċeramika hija b'saħħitha u għandha stabbiltà termali eċċellenti iżda tista' tkun ukoll fraġli, u dan jagħmilha aktar diffiċli biex tiġi manifatturata. Il-metalli huma rħas, jistgħu jiġu mmaxinjati, u duttili, iżda għandhom koeffiċjent ogħla ta' espansjoni termali u huma suxxettibbli għall-korrużjoni u l-kontaminazzjoni. Meta tagħżel materjali għal tagħmir semikondutturi, huwa kruċjali li tikkunsidra r-rekwiżiti speċifiċi tal-applikazzjoni u tagħżel materjali li jibbilanċjaw l-ispiża, il-prestazzjoni, u l-affidabbiltà.
Ħin tal-posta: 19 ta' Marzu 2024