Il-granit kien materjal użat komunement fl-industrija tas-semikondutturi għall-proprjetajiet mekkaniċi eċċellenti tiegħu, l-istabbiltà termali u l-koeffiċjent baxx ta 'espansjoni termali.Madankollu, bid-domanda dejjem tiżdied għal preċiżjoni u produttività ogħla, materjali alternattivi ħarġu bħala għażliet vijabbli għall-fabbrikazzjoni ta 'komponenti ta' tagħmir semikonduttur.F'dan l-artikolu, se nesploraw xi wħud mill-materjali alternattivi għall-partijiet tal-granit f'tagħmir semikonduttur u nqabblu l-vantaġġi u l-iżvantaġġi tagħhom.
Materjali Alternattivi għall-Partijiet tal-Granit
1. Materjali taċ-ċeramika tal-ħġieġ
Materjali taċ-ċeramika tal-ħġieġ, bħal Zerodur u Cervit, kisbu użu mifrux fl-industrija tas-semikondutturi minħabba l-koeffiċjent baxx ta 'espansjoni termali tagħhom, li huwa qrib dak tas-silikon.Konsegwentement, dawn il-materjali jistgħu jipprovdu stabbiltà termali aħjar u preċiżjoni msaħħa fil-proċess tal-fabbrikazzjoni tas-semikondutturi.Zerodur, b'mod partikolari, għandu grad għoli ta 'omoġeneità u stabbiltà, li jagħmilha adattata għall-manifattura ta' tagħmir litografiku.
Vantaġġi:
- Koeffiċjent baxx ta 'espansjoni termali
- Preċiżjoni għolja u stabbiltà
- Adattat għal applikazzjonijiet ta 'temperatura għolja
Żvantaġġi:
- Spiża ogħla meta mqabbla mal-granit
- Relattivament fraġli, jista 'joħloq sfidi fil-magni u l-immaniġġjar
2. Ċeramika
Materjali taċ-ċeramika, bħal ossidu tal-aluminju (Al2O3), karbur tas-silikon (SiC), u nitrur tas-silikon (Si3N4), għandhom proprjetajiet mekkaniċi eċċellenti, reżistenza għat-temperatura għolja, u koeffiċjent ta 'espansjoni termali baxx.Dawn il-proprjetajiet jagħmlu ċ-ċeramika ideali għal partijiet tat-tagħmir tas-semikondutturi li jeħtieġu stabbiltà u preċiżjoni termali għolja, bħal stadji tal-wejfer u ċokkijiet.
Vantaġġi:
- Stabbiltà u saħħa termali għolja
- Koeffiċjent baxx ta 'espansjoni termali
- Reżistenza għolja għall-ilbies u inertness kimika
Żvantaġġi:
- Jista 'jkun fraġli u suxxettibbli għall-qsim, speċjalment waqt il-magni u l-immaniġġjar
- Il-magni u l-illustrar taċ-ċeramika jistgħu jkunu ta 'sfida u jieħdu ħafna ħin
3. Metalli
Materjali bbażati fuq il-metall, bħall-istainless steel u t-titanju, intużaw għal xi partijiet tat-tagħmir tas-semikondutturi minħabba l-makkinarju eċċellenti u s-saħħa għolja tagħhom.Dawn huma komunement użati f'applikazzjonijiet fejn stabbiltà termali għolja mhix meħtieġa, bħal partijiet tal-kamra, couplings, u feedthroughs.
Vantaġġi:
- Makkinabilità tajba u weldjabbiltà
- Saħħa għolja u duttilità
- Spiża baxxa meta mqabbla ma 'xi wħud mill-materjali alternattivi
Żvantaġġi:
- Koeffiċjent ta 'espansjoni termali għolja
- Mhux adattat għal applikazzjonijiet ta 'temperatura għolja minħabba kwistjonijiet ta' espansjoni termali
- Suxxettibbli għall-korrużjoni u l-kontaminazzjoni
Konklużjoni:
Fil-qosor, filwaqt li l-granit kien għażla popolari għall-partijiet tat-tagħmir tas-semikondutturi, ħarġu materjali alternattivi, kull wieħed b'vantaġġi u żvantaġġi uniċi.Materjali taċ-ċeramika tal-ħġieġ huma preċiżi ħafna u stabbli iżda jistgħu jkunu fraġli.Iċ-ċeramika hija b'saħħitha u għandha stabbiltà termali eċċellenti iżda tista 'wkoll tkun fraġli, u tagħmilhom aktar ta' sfida għall-manifattura.Il-metalli huma rħas, magni u duttili, iżda għandhom koeffiċjent ogħla ta 'espansjoni termali u huma suxxettibbli għall-korrużjoni u l-kontaminazzjoni.Meta tagħżel materjali għal tagħmir semikonduttur, huwa kruċjali li tikkunsidra r-rekwiżiti speċifiċi tal-applikazzjoni u tagħżel materjali li jibbilanċjaw l-ispiża, il-prestazzjoni u l-affidabbiltà.
Ħin tal-post: Mar-19-2024