Il-granit kien materjal użat komunement fl-industrija tas-semikondutturi għall-proprjetajiet mekkaniċi eċċellenti tiegħu, l-istabbiltà termali, u l-koeffiċjent baxx ta 'espansjoni termali. Madankollu, bid-domanda dejjem tiżdied għal preċiżjoni u produttività ogħla, materjali alternattivi ħarġu bħala għażliet vijabbli għall-fabbrikazzjoni ta 'komponenti tat-tagħmir tas-semikondutturi. F'dan l-artikolu, se nesploraw uħud mill-materjali alternattivi għal partijiet tal-granit f'tagħmir semikondutturi u nqabblu l-vantaġġi u l-iżvantaġġi tagħhom.
Materjali alternattivi għal partijiet tal-granit
1. Materjali taċ-ċeramika tal-ħġieġ
Materjali taċ-ċeramika tal-ħġieġ, bħal Zerodur u Cervit, kisbu użu mifrux fl-industrija tas-semikondutturi minħabba l-koeffiċjent ta 'espansjoni termali baxx tagħhom, li huwa qrib dak tas-silikon. Konsegwentement, dawn il-materjali jistgħu jipprovdu stabbiltà termali aħjar u preċiżjoni mtejba fil-proċess ta 'fabbrikazzjoni tas-semikondutturi. Zerodu, b'mod partikolari, għandu grad għoli ta 'omoġenjità u stabbiltà, li jagħmilha adattata għall-manifattura ta' tagħmir tal-litografija.
Vantaġġi:
- Koeffiċjent baxx ta 'espansjoni termali
- Preċiżjoni għolja u stabbiltà
- Adattat għal applikazzjonijiet ta 'temperatura għolja
Żvantaġġi:
- spiża ogħla meta mqabbla mal-granit
- relattivament fraġli, jistgħu joħolqu sfidi fil-magni u l-immaniġġjar
2. Ċeramika
Materjali taċ-ċeramika, bħal ossidu tal-aluminju (Al2O3), karbur tas-silikon (sic), u nitride tas-silikon (Si3N4), għandhom proprjetajiet mekkaniċi eċċellenti, reżistenza ta 'temperatura għolja, u koeffiċjent ta' espansjoni termali baxx. Dawn il-proprjetajiet jagħmlu ċ-ċeramika ideali għal partijiet ta 'tagħmir semikondutturi li jeħtieġu stabbiltà u preċiżjoni termali għolja, bħal stadji tal-wejfer u chucks.
Vantaġġi:
- Stabbiltà u saħħa termali għolja
- koeffiċjent ta 'espansjoni termali baxx
- reżistenza għolja għall-ilbies u inertità kimika
Żvantaġġi:
- Jista 'jkun fraġli u suxxettibbli għal qsim, speċjalment waqt il-magni u l-immaniġġjar
- Il-magni u l-illustrar taċ-ċeramika jistgħu jkunu ta 'sfida u jieħdu ħafna ħin
3. Metalli
Materjali bbażati fuq il-metall, bħall-istainless steel u t-titanju, intużaw għal xi partijiet tat-tagħmir tas-semikondutturi minħabba l-makkinabilità eċċellenti tagħhom u s-saħħa għolja. Huma komunement użati f'applikazzjonijiet fejn l-istabbiltà termali għolja mhix meħtieġa, bħal partijiet tal-kamra, akkoppjar, u feedthroughs.
Vantaġġi:
- Makkinabilità tajba u weldabilità
- Qawwa għolja u duttilità
- Spiża baxxa meta mqabbla ma 'wħud mill-materjali alternattivi
Żvantaġġi:
- Koeffiċjent ta 'espansjoni termali għolja
- Mhux adattat għal applikazzjonijiet ta 'temperatura għolja minħabba kwistjonijiet ta' espansjoni termali
- suxxettibbli għal korrużjoni u kontaminazzjoni
Konklużjoni:
Fil-qosor, filwaqt li l-granit kienet għażla popolari għal partijiet ta 'tagħmir semikondutturi, ħarġu materjali alternattivi, kull wieħed b'vantaġġi u żvantaġġi uniċi. Materjali taċ-ċeramika tal-ħġieġ huma preċiżi ħafna u stabbli imma jistgħu jkunu fraġli. Iċ-ċeramika huma b'saħħithom u għandhom stabbiltà termali eċċellenti iżda jistgħu wkoll ikunu fraġli, u jagħmilhom aktar ta 'sfida għall-manifattura. Il-metalli huma rħas, li jistgħu jiġu mmaniġġjati, u duttili, iżda għandhom koeffiċjent ogħla ta 'espansjoni termali u huma suxxettibbli għal korrużjoni u kontaminazzjoni. Meta tagħżel materjali għal tagħmir tas-semikondutturi, huwa kruċjali li jiġu kkunsidrati r-rekwiżiti speċifiċi tal-applikazzjoni u tagħżel materjali li jibbilanċjaw l-ispiża, il-prestazzjoni u l-affidabbiltà.
Ħin ta 'wara: Mar-19-2024