Fl-industrija tas-semikondutturi, l-ispezzjoni tal-wejfer hija ħolqa ewlenija biex tiġi żgurata l-kwalità u l-prestazzjoni taċ-ċippa, u l-eżattezza u l-istabbiltà tat-tabella tal-ispezzjoni għandhom rwol deċiżiv fir-riżultati tal-iskoperta. Il-bażi tal-granit bil-karatteristiċi uniċi tagħha, saret l-għażla ideali għat-tabella tal-ispezzjoni tal-wejfer tas-semikondutturi, li ġejja mill-analiżi multidimensjonali għalik.
L-ewwel, id-dimensjoni tal-garanzija tal-preċiżjoni
1. Ċatt u dritta ultra-għolja: Il-bażi tal-granit hija pproċessata b'teknoloġija avvanzata tal-ipproċessar, u l-ċatt jista' jilħaq ±0.001mm/m jew saħansitra preċiżjoni ogħla, u d-dritta hija wkoll eċċellenti. Fil-proċess ta' spezzjoni tal-wejfer, il-pjan ta' preċiżjoni għolja jipprovdi appoġġ stabbli għall-wejfer u jiżgura kuntatt preċiż bejn is-sonda tat-tagħmir ta' spezzjoni u l-ġonot tal-istann fuq il-wiċċ tal-wejfer.
2. Koeffiċjent baxx ħafna ta' espansjoni termali: il-manifattura tas-semikondutturi hija sensittiva għall-bidliet fit-temperatura, u l-koeffiċjent tal-espansjoni termali tal-granit huwa estremament baxx, ġeneralment madwar 5 × 10⁻⁶/℃. Meta l-pjattaforma ta' skoperta tkun qed taħdem, anke jekk it-temperatura ambjentali tvarja, id-daqs tal-bażi tal-granit jinbidel ftit li xejn. Pereżempju, fil-workshop b'temperatura għolja fis-sajf, it-temperatura tal-pjattaforma komuni ta' skoperta tal-bażi tal-metall tista' tikkawża li l-pożizzjoni relattiva tal-wejfer u t-tagħmir ta' skoperta tiċċaqlaq, u taffettwa l-preċiżjoni tal-iskoperta; Il-pjattaforma ta' skoperta tal-bażi tal-granit tista' żżomm l-istabbiltà, tiżgura l-preċiżjoni tal-pożizzjoni relattiva tal-wejfer u t-tagħmir ta' skoperta matul il-proċess ta' skoperta, u tipprovdi ambjent stabbli għal skoperta ta' preċiżjoni għolja.
It-tieni, id-dimensjoni tal-istabbiltà
1. Struttura stabbli u reżistenza għall-vibrazzjoni: Wara miljuni ta' snin ta' proċessi ġeoloġiċi, il-granit għandu struttura interna densa u uniformi. Fl-ambjent kumpless ta' fabbrika tas-semikondutturi, il-vibrazzjoni ġġenerata mill-operazzjoni ta' tagħmir periferali u l-persunal li jkun miexi madwarha hija attenwata b'mod effettiv mill-bażi tal-granit.
2. Preċiżjoni fl-użu fit-tul: meta mqabbel ma' materjali oħra, il-granit għandu ebusija għolja, reżistenza qawwija għall-użu, u l-ebusija Mohs tista' tilħaq 6-7. Il-wiċċ tal-bażi tal-granit ma jintlibesx faċilment waqt tagħbija, ħatt u operazzjonijiet frekwenti ta' spezzjoni tal-wejfers. Skont l-użu attwali tal-istatistika tad-dejta, l-użu tal-mejda tal-ittestjar tal-bażi tal-granit, tħaddim kontinwu wara 5000 siegħa, il-preċiżjoni tal-flatness u d-drittezza xorta tista' tinżamm f'aktar minn 98% tal-preċiżjoni inizjali, u b'hekk jitnaqqas it-tagħmir minħabba l-użu tal-bażi kkawżat minn ħinijiet regolari ta' kalibrazzjoni u manutenzjoni, jitnaqqsu l-ispejjeż operattivi tan-negozju, biex tiġi żgurata l-istabbiltà fit-tul tax-xogħol tal-ittestjar.
It-tielet, dimensjoni nadifa u kontra l-interferenza
1. Ġenerazzjoni baxxa ta' trab: l-ambjent tal-manifattura tas-semikondutturi jeħtieġ li jkun nadif ħafna, u l-materjal tal-granit innifsu jkun stabbli u mhux faċli li jipproduċi partiċelli tat-trab. Matul it-tħaddim tal-pjattaforma tat-test, it-trab iġġenerat mill-bażi jiġi evitat li jniġġes il-wejfer, u r-riskju ta' short circuit u open circuit ikkawżat minn partiċelli tat-trab jitnaqqas. Fiż-żona ta' spezzjoni tal-wejfer tal-workshop mingħajr trab, il-konċentrazzjoni tat-trab madwar il-mejda ta' spezzjoni tal-bażi tal-granit hija dejjem ikkontrollata għal livell estremament baxx, u tissodisfa r-rekwiżiti stretti ta' ndafa tal-industrija tas-semikondutturi.
2. L-ebda interferenza manjetika: it-tagħmir ta' skoperta huwa sensittiv għall-ambjent elettromanjetiku, u l-granit huwa materjal mhux manjetiku, li mhux se jinterferixxi mas-sinjal elettroniku tat-tagħmir ta' skoperta. Fl-użu ta' skoperta tar-raġġ tal-elettroni u teknoloġiji oħra ta' ttestjar li jeħtieġu ambjent elettromanjetiku estremament għoli, il-bażi tal-granit tiżgura t-trażmissjoni stabbli tas-sinjal elettroniku tat-tagħmir ta' skoperta u tiżgura l-eżattezza tar-riżultati tat-test. Pereżempju, meta l-wejfer jiġi ttestjat għal prestazzjoni elettrika ta' preċiżjoni għolja, il-bażi tal-granit mhux manjetika tevita interferenza mas-sinjali tal-kurrent u l-vultaġġ ta' skoperta, sabiex id-dejta ta' skoperta tirrifletti tassew il-karatteristiċi elettriċi tal-wejfer.
Ħin tal-posta: 31 ta' Marzu 2025