1. Preċiżjoni dimensjonali
Ċatt: il-ċatt tal-wiċċ tal-bażi għandu jilħaq standard għoli ħafna, u l-iżball tal-ċatt m'għandux jaqbeż ±0.5μm f'kull żona ta' 100mm × 100mm; Għall-pjan bażi kollu, l-iżball tal-ċatt huwa kkontrollat fi ħdan ±1μm. Dan jiżgura li l-komponenti ewlenin tat-tagħmir tas-semikondutturi, bħar-ras tal-espożizzjoni tat-tagħmir tal-litografija u l-mejda tas-sonda tat-tagħmir tad-detezzjoni taċ-ċippa, jistgħu jiġu installati u mħaddma b'mod stabbli fuq pjan ta' preċiżjoni għolja, jiżguraw l-eżattezza tal-mogħdija ottika u l-konnessjoni taċ-ċirkwit tat-tagħmir, u jevitaw id-devjazzjoni tal-ispostament tal-komponenti kkawżata mill-pjan irregolari tal-bażi, li jaffettwa l-manifattura taċ-ċippa tas-semikondutturi u l-eżattezza tad-detezzjoni.
Drittalità: Id-drittalità ta' kull tarf tal-bażi hija kruċjali. Fid-direzzjoni tat-tul, l-iżball fid-drittalità m'għandux jaqbeż ±1μm għal kull 1m; L-iżball fid-drittalità djagonali huwa kkontrollat fi ħdan ±1.5μm. Bħala eżempju ta' magna litografika ta' preċiżjoni għolja, meta l-mejda tiċċaqlaq tul il-binarju gwida tal-bażi, id-drittalità tat-tarf tal-bażi taffettwa direttament il-preċiżjoni tat-trajettorja tal-mejda. Jekk id-drittalità ma tkunx skont l-istandard, il-mudell litografiku se jkun mgħawweġ u deformat, li jirriżulta fi tnaqqis fir-rendiment tal-manifattura taċ-ċippa.
Paralleliżmu: L-iżball tal-paralleliżmu tal-uċuħ ta' fuq u ta' isfel tal-bażi għandu jkun ikkontrollat fi ħdan ±1μm. Paralleliżmu tajjeb jista' jiżgura l-istabbiltà taċ-ċentru tal-gravità ġenerali wara l-installazzjoni tat-tagħmir, u l-forza ta' kull komponent tkun uniformi. Fit-tagħmir tal-manifattura tal-wejfers tas-semikondutturi, jekk l-uċuħ ta' fuq u ta' isfel tal-bażi mhumiex paralleli, il-wejfer se jxaqleb waqt l-ipproċessar, u jaffettwa l-uniformità tal-proċess bħall-inċiżjoni u l-kisi, u b'hekk jaffettwa l-konsistenza tal-prestazzjoni taċ-ċippa.
It-tieni, il-karatteristiċi tal-materjal
Ebusija: L-ebusija tal-materjal bażi tal-granit għandha tilħaq l-ebusija Shore HS70 jew aktar. L-ebusija għolja tista' tirreżisti b'mod effettiv l-użu kkawżat minn moviment frekwenti u frizzjoni tal-komponenti waqt it-tħaddim tat-tagħmir, u tiżgura li l-bażi tista' żżomm daqs ta' preċiżjoni għolja wara użu fit-tul. Fit-tagħmir tal-ippakkjar taċ-ċippa, id-driegħ tar-robot ta' spiss jaqbad u jpoġġi ċ-ċippa fuq il-bażi, u l-ebusija għolja tal-bażi tista' tiżgura li l-wiċċ ma jkunx faċli biex jipproduċi grif u żżomm l-eżattezza tal-moviment tad-driegħ tar-robot.
Densità: Id-densità tal-materjal għandha tkun bejn 2.6-3.1 g/cm³. Id-densità xierqa tagħmel il-bażi b'stabbiltà ta' kwalità tajba, li tista' tiżgura riġidità suffiċjenti biex issostni t-tagħmir, u ma ġġibx diffikultajiet għall-installazzjoni u t-trasport tat-tagħmir minħabba piż eċċessiv. F'tagħmir kbir ta' spezzjoni tas-semikondutturi, densità stabbli tal-bażi tgħin biex tnaqqas it-trażmissjoni tal-vibrazzjoni waqt it-tħaddim tat-tagħmir u ttejjeb il-preċiżjoni tad-detezzjoni.
Stabbiltà termali: il-koeffiċjent ta' espansjoni lineari huwa inqas minn 5 × 10⁻⁶/℃. It-tagħmir semikonduttur huwa sensittiv ħafna għall-bidliet fit-temperatura, u l-istabbiltà termali tal-bażi hija direttament relatata mal-eżattezza tat-tagħmir. Matul il-proċess tal-litografija, il-varjazzjonijiet fit-temperatura jistgħu jikkawżaw l-espansjoni jew il-kontrazzjoni tal-bażi, li tirriżulta f'devjazzjoni fid-daqs tal-mudell ta' espożizzjoni. Il-bażi tal-granit b'koeffiċjent ta' espansjoni lineari baxx tista' tikkontrolla l-bidla fid-daqs f'firxa żgħira ħafna meta t-temperatura operattiva tat-tagħmir tinbidel (ġeneralment 20-30 °C) biex tiżgura l-eżattezza tal-litografija.
It-tielet, il-kwalità tal-wiċċ
Ħruxija: Il-valur tal-ħruxija tal-wiċċ Ra fuq il-bażi ma jaqbiżx 0.05μm. Il-wiċċ ultra-lixx jista' jnaqqas l-assorbiment tat-trab u l-impuritajiet u jnaqqas l-impatt fuq l-indafa tal-ambjent tal-manifattura taċ-ċippa tas-semikondutturi. Fil-workshop ħieles mit-trab tal-manifattura taċ-ċippa, partiċelli żgħar jistgħu jwasslu għal difetti bħal short circuit taċ-ċippa, u l-wiċċ lixx tal-bażi jgħin biex iżomm ambjent nadif tal-workshop u jtejjeb ir-rendiment taċ-ċippa.
Difetti mikroskopiċi: Il-wiċċ tal-bażi m'għandux ikollu xquq viżibbli, toqob fir-ramel, pori u difetti oħra. Fil-livell mikroskopiku, in-numru ta' difetti b'dijametru akbar minn 1 μm għal kull ċentimetru kwadru m'għandux jaqbeż it-3 permezz tal-mikroskopija elettronika. Dawn id-difetti jaffettwaw is-saħħa strutturali u l-wiċċ ċatt tal-bażi, u mbagħad jaffettwaw l-istabbiltà u l-preċiżjoni tat-tagħmir.
Ir-raba', l-istabbiltà u r-reżistenza għax-xokkijiet
Stabbiltà dinamika: Fl-ambjent ta' vibrazzjoni simulata ġġenerat mill-operazzjoni ta' tagħmir semikonduttur (firxa ta' frekwenza ta' vibrazzjoni 10-1000Hz, amplitudni 0.01-0.1mm), l-ispostament tal-vibrazzjoni tal-punti ewlenin tal-immuntar fuq il-bażi għandu jkun ikkontrollat fi ħdan ±0.05μm. Jekk nieħdu t-tagħmir tat-test tas-semikondutturi bħala eżempju, jekk il-vibrazzjoni tal-apparat stess u l-vibrazzjoni tal-ambjent tal-madwar jiġu trażmessi lill-bażi waqt l-operazzjoni, l-eżattezza tas-sinjal tat-test tista' tiġi interferita. Stabbiltà dinamika tajba tista' tiżgura riżultati tat-test affidabbli.
Reżistenza sismika: Il-bażi jrid ikollha prestazzjoni sismika eċċellenti, u tista' tnaqqas malajr l-enerġija tal-vibrazzjoni meta tkun soġġetta għal vibrazzjoni esterna f'daqqa (bħal vibrazzjoni ta' simulazzjoni ta' mewġ sismiku), u tiżgura li l-pożizzjoni relattiva tal-komponenti ewlenin tat-tagħmir tinbidel fi żmien ±0.1μm. Fil-fabbriki tas-semikondutturi f'żoni suxxettibbli għat-terremoti, bażijiet reżistenti għat-terremoti jistgħu jipproteġu b'mod effettiv tagħmir semikonduttur għali, u jnaqqsu r-riskju ta' ħsara lit-tagħmir u tfixkil fil-produzzjoni minħabba l-vibrazzjoni.
5. Stabbiltà kimika
Reżistenza għall-korrużjoni: Il-bażi tal-granit għandha tiflaħ il-korrużjoni ta' aġenti kimiċi komuni fil-proċess tal-manifattura tas-semikondutturi, bħal aċidu idrofluworiku, aqua regia, eċċ. Wara li titgħaddas f'soluzzjoni ta' aċidu idrofluworiku b'frazzjoni tal-massa ta' 40% għal 24 siegħa, ir-rata ta' telf fil-kwalità tal-wiċċ m'għandhiex taqbeż 0.01%; Xarrab f'aqua regia (proporzjon tal-volum ta' aċidu idrokloriku għal aċidu nitriku 3:1) għal 12-il siegħa, u ma jkun hemm l-ebda traċċa ovvja ta' korrużjoni fuq il-wiċċ. Il-proċess tal-manifattura tas-semikondutturi jinvolvi varjetà ta' proċessi ta' inċiżjoni u tindif kimiku, u r-reżistenza tajba għall-korrużjoni tal-bażi tista' tiżgura li l-użu fit-tul fl-ambjent kimiku ma jitmermirx, u li l-eżattezza u l-integrità strutturali jinżammu.
Kontra t-tniġġis: Il-materjal bażi għandu assorbiment estremament baxx ta' sustanzi niġġiesa komuni fl-ambjent tal-manifattura tas-semikondutturi, bħal gassijiet organiċi, joni tal-metall, eċċ. Meta jitqiegħed f'ambjent li fih 10 PPM ta' gassijiet organiċi (eż., benżin, toluene) u 1ppm ta' joni tal-metall (eż., joni tar-ram, joni tal-ħadid) għal 72 siegħa, il-bidla fil-prestazzjoni kkawżata mill-assorbiment ta' sustanzi niġġiesa fuq il-wiċċ tal-bażi hija negliġibbli. Dan jipprevjeni li l-kontaminanti jemigraw mill-wiċċ tal-bażi għaż-żona tal-manifattura taċ-ċippa u jaffettwaw il-kwalità taċ-ċippa.
Ħin tal-posta: 28 ta' Marzu 2025