Fil-katina preċiża tal-manifattura tas-semikondutturi, is-sistema tat-trasferiment tal-wejfer hija bħall-"linja tas-salvataġġ tal-linja tal-produzzjoni taċ-ċippa", u l-istabbiltà u l-eżattezza tagħha jiddeterminaw direttament ir-rata tar-rendiment taċ-ċippijiet. Il-ġenerazzjoni l-ġdida ta' sistemi ta' trasferiment tal-wejfer tgħaqqad b'mod rivoluzzjonarju muturi lineari ma' bażijiet tal-granit, u l-vantaġġi uniċi tal-materjali tal-granit huma preċiżament il-kodiċi ewlieni biex tinfetaħ trasmissjoni ta' prestazzjoni għolja.
Bażi tal-granit: Il-bini ta' "pedament sod daqs il-blat" għal trasmissjoni stabbli
Il-granit, wara li għadda minn mijiet ta’ miljuni ta’ snin ta’ raffinament ġeoloġiku, għandu kristallizzazzjoni minerali interna densa u uniformi. Din il-karatteristika naturali tagħmlu materjal bażi ideali għal sistemi ta’ trasferiment ta’ wejfers. Fl-ambjent kumpless tal-kmamar nodfa tas-semikondutturi, il-granit, bil-koeffiċjent ultra-baxx tiegħu ta’ espansjoni termali (biss 5-7 ×10⁻⁶/℃), jista’ jirreżisti s-sħana ġġenerata waqt it-tħaddim tat-tagħmir u l-influwenza tal-bidliet fit-temperatura ambjentali, u jiżgura l-istabbiltà tad-daqs tal-bażi u jevita d-devjazzjoni tal-mogħdija tat-trażmissjoni kkawżata mid-deformazzjoni termali. Il-prestazzjoni eċċellenti tiegħu ta’ damping tal-vibrazzjoni tista’ tassorbi malajr il-vibrazzjonijiet mekkaniċi ġġenerati waqt il-bidu, l-għeluq u l-aċċelerazzjoni ta’ muturi lineari, kif ukoll l-interferenzi esterni miġjuba mit-tħaddim ta’ tagħmir ieħor fil-garaxx, u jipprovdi pjattaforma stabbli b’“żero ħawwad” għat-trażmissjoni tal-wejfers.
Sadanittant, l-istabbiltà kimika tal-granit tiżgura li ma jissaddadx jew jissaddadx f'workshops tas-semikondutturi fejn ir-reaġenti tal-aċidu u l-alkali huma volatili u hija meħtieġa ndafa għolja, u b'hekk tevita l-impatt fuq il-preċiżjoni tat-trażmissjoni minħabba t-tixjiħ tal-materjal jew l-assorbiment ta' sustanzi li jniġġsu. Il-karatteristiċi tal-wiċċ lixx u dens jistgħu jnaqqsu b'mod aktar effettiv l-adeżjoni tat-trab, jissodisfaw l-istandards stretti mingħajr trab tal-kmamar nodfa u jeliminaw ir-riskju ta' kontaminazzjoni tal-wejfer mill-għerq.
L-effett tas-"sħubija tad-deheb" tal-muturi lineari u l-granit
Muturi lineari, bil-karatteristiċi tagħhom ta' ebda spazju ta' trasmissjoni mekkanika, aċċelerazzjoni għolja u veloċità ta' rispons għolja, jagħtu lit-trasmissjoni tal-wejfer il-vantaġġi ta' "veloċi, preċiża u stabbli". Il-bażi tal-granit tipprovdi pjattaforma ta' appoġġ solida u affidabbli għaliha. It-tnejn jaħdmu flimkien biex jiksbu qabża fil-prestazzjoni. Meta l-mutur lineari jsuq il-ġarr tal-wejfer biex jimxi fuq il-binarju tal-bażi tal-granit, ir-riġidità u l-istabbiltà qawwija tal-bażi jiżguraw it-trasmissjoni effiċjenti tal-forza tas-sewqan tal-mutur, u jevitaw telf ta' forza jew dewmien fit-trasmissjoni kkawżat mid-deformazzjoni tal-bażi.
Immexxija mid-domanda għal preċiżjoni nanoskala, muturi lineari jistgħu jiksbu kontroll tal-ispostament fil-livell sub-mikron. Il-karatteristiċi tal-ipproċessar ta' preċiżjoni għolja tal-bażijiet tal-granit (b'żbalji ta' ċattità kkontrollati fi ħdan ±1μm) jaqblu perfettament mal-kontroll preċiż tal-muturi lineari, u jiżguraw flimkien li l-iżball fil-pożizzjonament waqt it-trażmissjoni tal-wejfer ikun inqas minn ±5μm. Kemm jekk huwa trasferiment b'veloċità għolja fost diversi tagħmir tal-proċess jew parkeġġ preċiż għat-trasferiment tal-wejfer, il-kombinazzjoni ta' muturi lineari u bażijiet tal-granit tista' tiżgura "devjazzjoni żero u jitter żero" fit-trażmissjoni tal-wejfer.
Verifika tal-prattika tal-industrija: Titjib doppju fl-effiċjenza u r-rata tar-rendiment
Wara li aġġornat is-sistema ta' trasferiment tal-wejfers tagħha, intrapriża globali ewlenija tas-semikondutturi adottat soluzzjoni ta' mutur lineari + bażi tal-granit, li żiedet l-effiċjenza tat-trasferiment tal-wejfer b'40%, naqqset ir-rata ta' okkorrenza ta' ħsarat bħal ħabta u offset matul il-proċess ta' trasferiment b'85%, u tejbet ir-rata ġenerali tar-rendiment taċ-ċipep b'6%. Wara d-dejta tinsab il-garanzija tal-istabbiltà tat-trażmissjoni pprovduta mill-bażi tal-granit u l-effett ta' sinerġija ta' veloċità għolja u preċiżjoni tal-mutur lineari, li jnaqqas b'mod sinifikanti t-telf u l-iżball fil-proċess ta' trażmissjoni tal-wejfer.
Mill-proprjetajiet tal-materjal sal-manifattura ta' preċiżjoni, mill-vantaġġi tal-prestazzjoni sal-verifika prattika, il-kombinazzjoni ta' muturi lineari u bażijiet tal-granit iddefiniet mill-ġdid l-istandards tas-sistemi ta' trasferiment tal-wejfers. Fil-futur meta t-teknoloġija tas-semikondutturi tavvanza lejn proċessi ta' 3nm u 2nm, il-materjali tal-granit żgur li se jkomplu jagħtu spinta qawwija lill-iżvilupp tal-industrija bil-vantaġġi insostitwibbli tagħhom.
Ħin tal-posta: 14 ta' Mejju 2025