Il-materjali tal-granit jintużaw ħafna fl-industrija tas-semikondutturi minħabba l-karatteristiċi eċċellenti tagħhom, bħal stabbiltà għolja, espansjoni termali baxxa, u reżistenza għolja għall-korrużjoni. Dawn il-proprjetajiet jagħmlu l-granit materjal ideali għall-bini ta' komponenti ta' preċiżjoni għolja f'sistema ta' trasferiment ta' wejfers.
Fil-proċess tal-manifattura tas-semikondutturi, is-sistema tat-trasferiment tal-wejfers għandha rwol kritiku fit-trasport tal-wejfers matul stadji differenti tal-proċess tal-manifattura. Il-preċiżjoni u l-eżattezza huma r-rekwiżiti essenzjali għal dawn is-sistemi peress li anke devjazzjonijiet żgħar jistgħu jipperikolaw il-proċess kollu. Għalhekk, il-komponenti fis-sistema tat-trasferiment tal-wejfers iridu jkunu magħmula minn materjali ta’ kwalità għolja, u l-granit jissodisfa dawk il-kriterji.
Xi partijiet tas-sistema tat-trasferiment tal-wejfer li huma magħmula minn materjali tal-granit jinkludu:
1. Tabella taċ-Chuck tal-Vakwu
Il-mejda taċ-ċokk tal-vakwu tintuża biex iżżomm il-wejfer matul il-proċess, u trid ikollha wiċċ stabbli biex tiżgura li l-wejfer ma jiġrilhiex ħsara. Il-granit huwa materjal ideali biex issir din il-mejda għaliex għandu wiċċ ċatt u mhux poruż li jipprovdi stabbiltà u preċiżjoni għolja. Barra minn hekk, il-granit għandu koeffiċjent baxx ta' espansjoni termali, li jagħmilha reżistenti għall-bidliet fit-temperatura li jistgħu jikkawżaw bidliet dimensjonali fil-wejfer.
2. Stadju tal-Ġarr tal-Arja
L-istadju li jġorr l-arja jintuża biex jittrasporta l-wejfer minn stadji differenti tal-proċess tal-manifattura. L-istadju huwa ddisinjat biex jipprovdi moviment mingħajr frizzjoni, li jeħtieġ preċiżjoni u stabbiltà għolja. Il-granit jintuża f'din l-applikazzjoni għaliex huwa ġebla riġida u iebsa, u jirreżisti d-deformazzjoni u l-użu maż-żmien.
3. Gwidi tal-Mozzjoni Lineari
Il-gwidi tal-moviment lineari jintużaw biex jiggwidaw l-istadju tal-berings tal-arja, u jridu jkunu pożizzjonati b'mod preċiż biex jimminimizzaw l-iżbalji. Il-granit jintuża biex tinbena din il-gwida għaliex għandu stabbiltà mekkanika u saħħa eċċellenti. Il-materjal huwa wkoll reżistenti għall-korrużjoni, li jiżgura l-lonġevità tas-sistema ta' gwida.
4. Tagħmir tal-Metroloġija
It-tagħmir tal-metroloġija jintuża biex ikejjel id-dimensjonijiet u l-proprjetajiet tal-wejfer matul il-proċess tal-manifattura. Il-granit huwa materjal ideali għall-bini ta' dan it-tagħmir għaliex għandu ebusija għolja, espansjoni baxxa, u deformazzjoni minima taħt tagħbija. Barra minn hekk, l-istabbiltà termali tal-granit tiżgura li t-tagħmir tal-metroloġija jibqa' stabbli u preċiż maż-żmien.
Bħala konklużjoni, l-industrija tas-semikondutturi tiddependi fuq il-preċiżjoni u l-eżattezza, u l-materjali tal-granit urew li huma affidabbli ħafna u stabbli fil-proċess tal-manifattura. Peress li ħafna komponenti kritiċi fis-sistema tat-trasferiment tal-wejfer jeħtieġu stabbiltà għolja, preċiżjoni, u espansjoni termali baxxa, l-inġiniera rrikorrew għal materjali tal-granit biex jissodisfaw dawn ir-rekwiżiti kritiċi.
Ħin tal-posta: 19 ta' Marzu 2024