Materjali tal-granit huma użati ħafna fl-industrija tas-semikondutturi minħabba l-karatteristiċi eċċellenti tagħhom, bħal stabbiltà għolja, espansjoni termika baxxa, u reżistenza għolja għall-korrużjoni. Dawn il-proprjetajiet jagħmlu l-granit materjal ideali għall-bini ta 'komponenti ta' preċiżjoni għolja f'sistema ta 'trasferiment tal-wejfer.
Fil-proċess tal-manifattura tas-semikondutturi, is-sistema ta 'trasferiment tal-wejfer għandha rwol kritiku fit-trasport tal-wejfers fl-istadji differenti tal-proċess tal-manifattura. Il-preċiżjoni u l-eżattezza huma r-rekwiżiti essenzjali għal dawn is-sistemi peress li devjazzjonijiet ħfief jistgħu jipperikolaw il-proċess kollu. Għalhekk, il-komponenti fis-sistema ta 'trasferiment tal-wejfer għandhom ikunu magħmula minn materjali ta' kwalità għolja, u l-granit jissodisfa dawk il-kriterji.
Xi partijiet tas-sistema ta 'trasferiment tal-wejfer li huma magħmula minn materjali tal-granit jinkludu:
1. Tabella ta 'Chuck bil-Vakwu
It-tabella tal-chuck tal-vakwu tintuża biex iżżomm il-wejfer matul il-proċess, u għandu jkollha wiċċ stabbli biex tiżgura li l-wejfer ma jkunx bil-ħsara. Il-granit huwa materjal ideali biex jagħmel din it-tabella minħabba li għandu wiċċ ċatt u mhux poruż li jipprovdi stabbiltà u preċiżjoni għolja. Barra minn hekk, il-granit għandu koeffiċjent baxx ta 'espansjoni termali, li jagħmilha reżistenti għal bidliet fit-temperatura li jistgħu jikkawżaw bidliet dimensjonali fil-wejfer.
2. Stadju li jġorr l-arja
L-istadju li jġorr l-arja jintuża biex jittrasporta l-wejfer permezz ta 'stadji differenti tal-proċess tal-manifattura. L-istadju huwa inġinerija biex jipprovdi moviment mingħajr frizzjoni, li jirrikjedi preċiżjoni u stabbiltà għolja. Il-granit jintuża f'din l-applikazzjoni minħabba li huwa ġebla riġida u iebsa, u tirreżisti d-deformazzjoni u l-ilbies maż-żmien.
3. Gwidi tal-moviment lineari
Il-gwidi lineari tal-moviment jintużaw biex jiggwidaw l-istadju li jġorr l-arja, u għandhom ikunu pożizzjonati b'mod preċiż biex jimminimizzaw l-iżbalji. Il-granit jintuża biex jibni din il-gwida minħabba li għandu stabbiltà u saħħa mekkanika eċċellenti. Il-materjal huwa wkoll reżistenti għall-korrużjoni, li jiżgura l-lonġevità tas-sistema ta 'gwida.
4. Tagħmir tal-metroloġija
Tagħmir tal-metroloġija jintuża biex ikejjel id-dimensjonijiet u l-proprjetajiet tal-wejfer matul il-proċess tal-manifattura. Il-granit huwa materjal ideali għall-bini ta 'dan it-tagħmir minħabba li għandu ebusija għolja, espansjoni baxxa, u deformazzjoni minima taħt tagħbija. Barra minn hekk, l-istabbiltà termali tal-granit tiżgura li t-tagħmir tal-metroloġija jibqa 'stabbli u preċiż maż-żmien.
Bħala konklużjoni, l-industrija tas-semikondutturi tiddependi fuq preċiżjoni u eżattezza, u l-materjali tal-granit wrew li huma affidabbli ħafna u stabbli fil-proċess tal-manifattura. B'ħafna komponenti kritiċi fis-sistema ta 'trasferiment tal-wejfer li teħtieġ stabbiltà għolja, preċiżjoni u espansjoni termali baxxa, l-inġiniera rrikorrew għal materjali tal-granit biex jissodisfaw dawn ir-rekwiżiti kritiċi.
Ħin ta 'wara: Mar-19-2024