Materjali tal-granit jintużaw ħafna fl-industrija tas-semikondutturi minħabba l-karatteristiċi eċċellenti tagħhom, bħal stabbiltà għolja, espansjoni termika baxxa, u reżistenza għolja għall-korrużjoni.Dawn il-proprjetajiet jagħmlu l-granit materjal ideali għall-bini ta 'komponenti ta' preċiżjoni għolja f'sistema ta 'trasferiment tal-wejfer.
Fil-proċess tal-manifattura tas-semikondutturi, is-sistema tat-trasferiment tal-wejfer għandha rwol kritiku fit-trasport tal-wejfers fi stadji differenti tal-proċess tal-manifattura.Il-preċiżjoni u l-eżattezza huma r-rekwiżiti essenzjali għal dawn is-sistemi peress li anke devjazzjonijiet żgħar jistgħu jipperikolaw il-proċess kollu.Għalhekk, il-komponenti fis-sistema tat-trasferiment tal-wejfers għandhom ikunu magħmula minn materjali ta 'kwalità għolja, u l-granit jissodisfa dawk il-kriterji.
Xi partijiet tas-sistema tat-trasferiment tal-wejfer li huma magħmula minn materjali tal-granit jinkludu:
1. Tabella ta 'Chuck tal-vakwu
It-tabella taċ-ċokk tal-vakwu tintuża biex iżżomm il-wejfer matul il-proċess, u għandu jkollha wiċċ stabbli biex tiżgura li l-wejfer ma ssirx ħsara.Il-granit huwa materjal ideali biex issir din it-tabella minħabba li għandu wiċċ ċatt u mhux poruż li jipprovdi stabbiltà u preċiżjoni għolja.Barra minn hekk, il-granit għandu koeffiċjent baxx ta 'espansjoni termali, li jagħmilha reżistenti għal bidliet fit-temperatura li jistgħu jikkawżaw bidliet dimensjonali fil-wejfer.
2. Stadju li jġorr l-arja
L-istadju li jġorr l-arja jintuża biex jittrasporta l-wejfer minn stadji differenti tal-proċess tal-manifattura.L-istadju huwa mfassal biex jipprovdi moviment mingħajr frizzjoni, li jeħtieġ preċiżjoni għolja u stabbiltà.Il-granit jintuża f'din l-applikazzjoni minħabba li huwa ġebla riġida u iebsa, u jirreżisti d-deformazzjoni u l-ilbies maż-żmien.
3. Gwidi tal-Moviment Lineari
Il-gwidi tal-moviment lineari jintużaw biex jiggwidaw l-istadju li jġorr l-arja, u għandhom ikunu pożizzjonati b'mod preċiż biex jimminimizzaw l-iżbalji.Il-granit jintuża biex tinbena din il-gwida minħabba li għandha stabbiltà u saħħa mekkanika eċċellenti.Il-materjal huwa wkoll reżistenti għall-korrużjoni, li jiżgura l-lonġevità tas-sistema ta 'gwida.
4. Tagħmir tal-Metroloġija
It-tagħmir tal-metroloġija jintuża biex ikejjel id-dimensjonijiet u l-proprjetajiet tal-wejfer matul il-proċess tal-manifattura.Il-granit huwa materjal ideali għall-bini ta 'dan it-tagħmir minħabba li għandu ebusija għolja, espansjoni baxxa, u deformazzjoni minima taħt tagħbija.Barra minn hekk, l-istabbiltà termali tal-granit tiżgura li t-tagħmir tal-metroloġija jibqa 'stabbli u preċiż matul iż-żmien.
Bħala konklużjoni, l-industrija tas-semikondutturi tiddependi fuq il-preċiżjoni u l-eżattezza, u l-materjali tal-granit wrew li huma affidabbli ħafna u stabbli fil-proċess tal-manifattura.B'ħafna komponenti kritiċi fis-sistema tat-trasferiment tal-wejfer li jeħtieġu stabbiltà għolja, preċiżjoni u espansjoni termika baxxa, l-inġiniera daru għal materjali tal-granit biex jissodisfaw dawn ir-rekwiżiti kritiċi.
Ħin tal-post: Mar-19-2024