Kif tispezzjona l-eżattezza ta' pjattaforma ta' preċiżjoni tal-granit? Kun żgur jekk l-eżattezza hijiex standard?

F'oqsma bħall-manifattura tas-semikondutturi u l-istrumenti tal-kejl ta' preċiżjoni, l-eżattezza tal-pjattaformi ta' preċiżjoni tal-granit tiddetermina direttament il-kwalità operattiva tat-tagħmir. Biex jiġi żgurat li l-eżattezza tal-pjattaforma tissodisfa l-istandards, għandhom isiru sforzi minn żewġ aspetti: l-iskoperta ta' indikaturi ewlenin u l-konformità man-normi standard.

Sejbien tal-indikatur ewlieni: Kontroll multidimensjonali tal-eżattezza
Sejbien ta' ċatt: Determinazzjoni tal-"ċatt" tal-pjan ta' referenza
Il-flatness hija l-indikatur ewlieni tal-pjattaformi ta' preċiżjoni tal-granit, u ġeneralment titkejjel permezz ta' interferometri tal-lejżer jew livelli elettroniċi. L-interferometru tal-lejżer jista' jkejjel b'mod preċiż l-undulazzjonijiet żgħar fuq il-wiċċ tal-pjattaforma billi jarmi raġġ tal-lejżer u juża l-prinċipju tal-interferenza tad-dawl, b'eżattezza li tilħaq il-livell sub-mikron. Il-livell elettroniku jkejjel billi jiċċaqlaq diversi drabi u jiġbed mappa tal-kontorn tridimensjonali tal-wiċċ tal-pjattaforma biex jiskopri jekk hemmx xi sporġenzi jew depressjonijiet lokali. Pereżempju, il-pjattaformi tal-granit użati fil-magni tal-fotolitografija tas-semikondutturi huma meħtieġa li jkollhom flatness ta' ±0.5μm/m, li jfisser li d-differenza fl-għoli f'tul ta' metru m'għandhiex taqbeż nofs mikrometru. Dan l-istandard strett jista' jiġi żgurat biss permezz ta' tagħmir ta' skoperta ta' preċiżjoni għolja.
2. Sejbien tad-drittezza: Kun żgur li l-moviment lineari huwa "dritt"
Għal pjattaformi li jġorru partijiet li jiċċaqalqu ta' preċiżjoni, id-drittarità hija ta' importanza vitali. Il-metodi komuni għad-detezzjoni huma l-metodu tal-wajer jew il-kollimatur tal-lejżer. Il-metodu tal-wajer jinvolvi s-sospensjoni ta' wajers tal-azzar ta' preċiżjoni għolja u t-tqabbil tad-distakk bejn il-wiċċ tal-pjattaforma u l-wajers tal-azzar biex tiġi ddeterminata d-drittarità. Il-kollimatur tal-lejżer juża l-karatteristiċi tal-propagazzjoni lineari tal-lejżer biex jidentifika l-iżball lineari tal-wiċċ tal-installazzjoni tal-binarju gwida tal-pjattaforma. Jekk id-drittarità ma tissodisfax l-istandard, dan jikkawża li t-tagħmir jiċċaqlaq waqt il-moviment, u jaffettwa l-preċiżjoni tal-ipproċessar jew tal-kejl.
3. Sejbien tal-ħruxija tal-wiċċ: Kun żgur li l-kuntatt ikun fin
Il-ħruxija tal-wiċċ tal-pjattaforma taffettwa l-adattament tal-installazzjoni tal-komponenti. Ġeneralment, jintuża miter tal-ħruxija tal-istilus jew mikroskopju ottiku għad-detezzjoni. L-istrument tat-tip stilus jirreġistra l-bidliet fl-għoli tal-profil mikroskopiku billi jikkuntattja l-wiċċ tal-pjattaforma b'sonda fina. Il-mikroskopji ottiċi jistgħu josservaw direttament in-nisġa tal-wiċċ. F'applikazzjonijiet ta' preċiżjoni għolja, il-ħruxija tal-wiċċ tal-pjattaformi tal-granit teħtieġ li tiġi kkontrollata f'Ra≤0.05μm, li huwa ekwivalenti għal effett ta' mera, li jiżgura li l-komponenti ta' preċiżjoni joqogħdu sew waqt l-installazzjoni u jevitaw vibrazzjoni jew spostament ikkawżati minn lakuni.
L-istandards ta' preċiżjoni jsegwu: normi internazzjonali u kontroll intern tal-intrapriża
Fil-preżent, internazzjonalment, l-istandards ISO 25178 u GB/T 24632 huma komunement użati bħala l-bażi biex tiġi ddeterminata l-eżattezza tal-pjattaformi tal-granit, u hemm klassifikazzjonijiet ċari għal indikaturi bħall-flatness u d-drittezza. Barra minn hekk, l-intrapriżi tal-manifattura ta' livell għoli spiss jistabbilixxu standards ta' kontroll intern aktar stretti. Pereżempju, ir-rekwiżit tal-flatness għall-pjattaforma tal-granit tal-magna tal-fotolitografija huwa 30% ogħla mill-istandard internazzjonali. Meta jsiru t-testijiet, id-dejta mkejla għandha titqabbel mal-istandards korrispondenti. Pjattaformi li jikkonformaw bis-sħiħ mal-istandards biss jistgħu jiżguraw prestazzjoni stabbli f'tagħmir ta' preċiżjoni.
L-ispezzjoni tal-eżattezza tal-pjattaformi ta' preċiżjoni tal-granit hija proġett sistematiku. Huwa biss billi jiġu ttestjati b'mod strett indikaturi ewlenin bħall-flatness, id-drittezza, u l-ħruxija tal-wiċċ, u billi jiġu osservati standards internazzjonali u tal-intrapriża, li jistgħu jiġu garantiti l-preċiżjoni għolja u l-affidabbiltà tal-pjattaforma, u b'hekk titqiegħed bażi soda għal oqsma ta' manifattura ta' kwalità għolja bħal semikondutturi u strumenti ta' preċiżjoni.