Pjattaforma tal-granit iddedikata għal kmamar nodfa: Rilaxx żero ta' joni tal-metall, għażla ideali għal tagħmir ta' spezzjoni tal-wejfers.

Fil-qasam tal-ispezzjoni tal-wejfers tas-semikondutturi, il-purità tal-ambjent tal-kamra nadifa hija direttament relatata mar-rendiment tal-prodott. Hekk kif il-preċiżjoni tal-proċessi tal-manifattura taċ-ċippa tkompli titjieb, ir-rekwiżiti għall-pjattaformi tal-ġarr tat-tagħmir ta' skoperta qed isiru dejjem aktar stretti. Il-pjattaformi tal-granit, bil-karatteristiċi tagħhom ta' rilaxx żero ta' joni tal-metall u tniġġis baxx ta' partiċelli, qabżu l-materjali tradizzjonali tal-istainless steel u saru s-soluzzjoni preferuta għat-tagħmir tal-ispezzjoni tal-wejfers.

Il-granit huwa blat igneju naturali magħmul prinċipalment minn minerali mhux metalliċi bħal kwarz, feldspar u majka. Din il-karatteristika tagħtih il-vantaġġ li ma jirrilaxxa l-ebda joni tal-metall. B'kuntrast, l-istainless steel, bħala liga ta' metalli bħall-ħadid, il-kromju u n-nikil, huwa suxxettibbli għall-korrużjoni elettrokimika fuq il-wiċċ tiegħu minħabba l-erożjoni tal-fwar tal-ilma u gassijiet aċidużi jew alkalini f'ambjent ta' kamra nadifa, li tirriżulta fil-preċipitazzjoni ta' joni tal-metall bħal Fe²⁺ u Cr³⁺. Ladarba dawn il-joni ċkejkna jeħlu mal-wiċċ tal-wejfer, jibdlu l-proprjetajiet elettriċi tal-materjal semikonduttur fi proċessi sussegwenti bħal fotolitografija u inċiżjoni, jikkawżaw drift tal-vultaġġ limitu tat-transistor, u saħansitra jwasslu għal short circuits fiċ-ċirkwit. Id-dejta tat-test tal-istituzzjoni professjonali turi li wara li l-pjattaforma tal-granit kienet esposta kontinwament għal ambjent simulat ta' temperatura u umdità ta' kamra nadifa (23±0.5℃, 45%±5% RH) għal 1000 siegħa, ir-rilaxx ta' joni tal-metall kien inqas mil-limitu ta' skoperta (<0.1ppb). Ir-rata ta' difetti tal-wejfers ikkawżata minn kontaminazzjoni ta' joni tal-metall meta jintużaw pjattaformi tal-istainless steel tista' tkun għolja sa 15% sa 20%.

granit ta' preċiżjoni10

F'termini ta' kontroll tal-kontaminazzjoni tal-partiċelli, il-pjattaformi tal-granit ukoll jaħdmu eċċezzjonalment tajjeb. Il-kmamar nodfa għandhom rekwiżiti estremament għoljin għall-konċentrazzjoni ta' partiċelli sospiżi fl-arja. Pereżempju, fil-kmamar nodfa tal-Klassi 1 tal-ISO, in-numru ta' partiċelli ta' 0.1μm permessi għal kull metru kubu ma jaqbiżx l-10. Anke jekk il-pjattaforma tal-istainless steel tkun għaddiet minn trattament ta' lustrar, xorta tista' tipproduċi debris tal-metall jew skala ta' ossidu li titqaxxar minħabba forzi esterni bħall-vibrazzjoni tat-tagħmir u l-operazzjoni tal-persunal, li jistgħu jinterferixxu mal-mogħdija ottika tad-detezzjoni jew tobrox il-wiċċ tal-wejfer. Il-pjattaformi tal-granit, bl-istruttura minerali densa tagħhom (densità ≥2.7g/cm³) u ebusija għolja (6-7 fuq l-iskala Mohs), mhumiex suxxettibbli għal xedd jew ksur waqt użu fit-tul. Kejl imkejjel juri li jistgħu jnaqqsu l-konċentrazzjoni ta' partiċelli sospiżi fl-arja taż-żona tat-tagħmir tad-detezzjoni b'aktar minn 40% meta mqabbla mal-pjattaformi tal-istainless steel, u b'hekk iżommu b'mod effettiv l-istandards tal-grad ta' kamra nodfa.

Minbarra l-karatteristiċi nodfa tagħha, il-prestazzjoni komprensiva tal-pjattaformi tal-granit taqbeż ukoll bil-bosta dik tal-istainless steel. F'termini ta' stabbiltà termali, il-koeffiċjent ta' espansjoni termali tiegħu huwa biss (4-8) ×10⁻⁶/℃, inqas minn nofs dak tal-istainless steel (madwar 17×10⁻⁶/℃), li jista' jżomm aħjar il-preċiżjoni tal-pożizzjonament tat-tagħmir ta' skoperta meta t-temperatura fil-kamra nadifa tvarja. Il-karatteristika għolja ta' damping (proporzjon ta' damping > 0.05) tista' tnaqqas malajr il-vibrazzjoni tat-tagħmir u tipprevjeni li s-sonda ta' skoperta titħarrek. Ir-reżistenza naturali għall-korrużjoni tagħha tippermettilha tibqa' stabbli anke meta esposta għal solventi fotoreżistenti, gassijiet tal-inċiżjoni u kimiċi oħra mingħajr il-ħtieġa għal protezzjoni addizzjonali tal-kisi.

Fil-preżent, il-pjattaformi tal-granit jintużaw ħafna f'impjanti avvanzati tal-manifattura tal-wejfers. Id-dejta turi li wara l-adozzjoni tal-pjattaforma tal-granit, ir-rata ta' żball ta' ġudizzju fl-iskoperta tal-partiċelli tal-wiċċ tal-wejfer naqset b'60%, iċ-ċiklu ta' kalibrazzjoni tat-tagħmir ġie estiż bi tliet darbiet, u l-ispiża ġenerali tal-produzzjoni naqset b'25%. Hekk kif l-industrija tas-semikondutturi timxi lejn preċiżjoni ogħla, il-pjattaformi tal-granit, bil-vantaġġi ewlenin tagħhom bħar-rilaxx żero ta' joni tal-metall u t-tniġġis baxx tal-partiċelli, se jkomplu jipprovdu appoġġ stabbli u affidabbli għall-ispezzjoni tal-wejfers, u jsiru forza importanti li tmexxi l-progress tal-industrija.

granit ta' preċiżjoni27


Ħin tal-posta: 20 ta' Mejju 2025