Fil-workshop tal-manifattura tas-semikondutturi, ir-rekwiżiti tal-proċess tal-manifattura taċ-ċippa għall-kundizzjonijiet ambjentali u l-eżattezza tat-tagħmir huma estremi, u kwalunkwe devjazzjoni żgħira tista' twassal għal tnaqqis sinifikanti fir-rendiment taċ-ċippa. Il-pjattaforma tal-moviment tal-gantry ta' preċiżjoni XYZT tiddependi fuq komponenti tal-granit biex jikkollaboraw ma' partijiet oħra tal-pjattaforma biex jibnu bażi soda biex tinkiseb eżattezza fuq in-nanoskala.
Proprjetajiet eċċellenti ta' imblukkar tal-vibrazzjoni
Fil-workshop tal-manifattura tas-semikondutturi, it-tħaddim ta' tagħmir periferali u l-persunal li jkun miexi madwaru jistgħu jikkawżaw vibrazzjoni. L-istruttura interna tal-komponenti tal-granit hija densa u uniformi, b'karatteristiċi naturali ta' damping għoli, bħal "barriera" effiċjenti għall-vibrazzjoni. Meta l-vibrazzjoni esterna tiġi trażmessa lill-pjattaforma XYZT, il-komponent tal-granit jista' effettivament itaffi aktar minn 80% tal-enerġija tal-vibrazzjoni u jnaqqas l-interferenza tal-vibrazzjoni fuq il-preċiżjoni tal-moviment tal-pjattaforma. Fl-istess ħin, il-pjattaforma hija mgħammra b'sistema ta' gwida tal-float tal-arja ta' preċiżjoni għolja, li taħdem flimkien mal-komponenti tal-granit. Il-gwida tal-float tal-arja tuża l-film tal-gass stabbli ffurmat minn gass bi pressjoni għolja biex tirrealizza l-moviment ta' sospensjoni mingħajr kuntatt tal-partijiet li jiċċaqalqu tal-pjattaforma u tnaqqas il-vibrazzjoni żgħira kkawżata mill-frizzjoni mekkanika. Flimkien, it-tnejn jiżguraw li l-preċiżjoni tal-pożizzjonament tal-pjattaforma dejjem tinżamm fil-livell tan-nanometru fi proċessi ewlenin bħal-litografija taċ-ċippa u l-inċiżjoni, u jevitaw id-devjazzjoni tal-mudelli taċ-ċirkwit taċ-ċippa kkawżata mill-vibrazzjoni.
Stabbiltà termali eċċellenti
Il-varjazzjoni fit-temperatura u l-umdità fil-garaxx għandha influwenza kbira fuq l-eżattezza tat-tagħmir tal-manifattura taċ-ċippa. Il-koeffiċjent tal-espansjoni termali tal-granit huwa baxx ħafna, ġeneralment f'5-7 ×10⁻⁶/℃, id-daqs kważi ma jinbidilx meta t-temperatura tinbidel. Anke jekk id-differenza fit-temperatura bejn il-jum u l-lejl fil-garaxx jew il-produzzjoni tas-sħana tat-tagħmir tikkawża li t-temperatura ambjentali tvarja, il-komponenti tal-granit jistgħu jibqgħu stabbli biex jipprevjenu d-deformazzjoni tal-pjattaforma minħabba l-espansjoni u l-kontrazzjoni termali. Fl-istess ħin, is-sistema intelliġenti ta' kontroll tat-temperatura mgħammra mal-pjattaforma tissorvelja t-temperatura ambjentali f'ħin reali, taġġusta awtomatikament it-tagħmir tal-arja kondizzjonata u tad-dissipazzjoni tas-sħana, u żżomm it-temperatura tal-garaxx f'20 °C ±1 °C. Flimkien mal-vantaġġi tal-istabbiltà tas-sħana tal-granit, tiżgura li l-pjattaforma f'operazzjoni fit-tul, l-eżattezza tal-moviment ta' kull assi dejjem tissodisfa l-istandards ta' preċiżjoni nanometrika tal-manifattura taċ-ċippa, biex tiżgura li d-daqs tal-mudell tal-litografija taċ-ċippa jkun preċiż, il-fond tal-inċiżjoni jkun uniformi.
Issodisfa l-bżonnijiet ta' ambjent nadif
Il-ħanut tal-manifattura tas-semikondutturi jeħtieġ li jżomm grad għoli ta' ndafa biex jipprevjeni li l-partiċelli tat-trab jikkontaminaw iċ-ċippa. Il-materjal tal-granit innifsu ma jipproduċix trab, u l-wiċċ huwa lixx, mhux faċli li jassorbi t-trab. Il-pjattaforma kollha kemm hi tadotta disinn ta' struttura kompletament magħluqa jew semi-magħluqa biex tnaqqas id-dħul ta' trab estern. Is-sistema ta' ċirkolazzjoni tal-arja interna hija konnessa mas-sistema ta' arja kondizzjonata nadifa tal-ħanut biex tiżgura li l-indafa tal-arja interna tilħaq il-livell meħtieġ mill-manifattura taċ-ċippa. F'dan l-ambjent nadif, il-komponenti tal-granit mhux se jaffettwaw il-prestazzjoni minħabba l-erożjoni tat-trab, u komponenti ewlenin bħal sensuri u muturi ta' preċiżjoni għolja tal-pjattaforma jistgħu wkoll joperaw b'mod stabbli, u jipprovdu garanzija kontinwa u affidabbli ta' preċiżjoni fuq skala nanometrika għall-manifattura taċ-ċippa, u jgħinu lill-industrija tas-semikondutturi timxi għal livell ogħla ta' proċess.
Ħin tal-posta: 14 ta' April 2025