Fil-manifattura tas-semikondutturi, il-magna tal-fotolitografija hija apparat ewlieni li jiddetermina l-preċiżjoni taċ-ċipep, u l-bażi tal-granit, bil-karatteristiċi multipli tagħha, saret komponent indispensabbli tal-magna tal-fotolitografija.
Stabbiltà termali: It-"Tarka" kontra l-Bidliet fit-Temperatura
Meta magna tal-fotolitografija tkun qed taħdem, din tiġġenera ammont kbir ta' sħana. Anke varjazzjoni fit-temperatura ta' 0.1℃ biss tista' tikkawża deformazzjoni tal-komponenti tat-tagħmir u taffettwa l-eżattezza tal-fotolitografija. Il-koeffiċjent tal-espansjoni termali tal-granit huwa estremament baxx, biss 4-8 ×10⁻⁶/℃, li huwa madwar 1/3 ta' dak tal-azzar u 1/5 ta' dak tal-liga tal-aluminju. Dan jippermetti li l-bażi tal-granit iżżomm stabbiltà dimensjonali meta l-magna tal-fotolitografija topera għal żmien twil jew meta t-temperatura ambjentali tinbidel, u tiżgura l-pożizzjonament preċiż tal-komponenti ottiċi u l-istrutturi mekkaniċi.
Prestazzjoni super kontra l-vibrazzjoni: L-"isponża" li tassorbi l-vibrazzjoni
F'fabbrika tas-semikondutturi, it-tħaddim tat-tagħmir tal-madwar u l-moviment tan-nies jistgħu jiġġeneraw vibrazzjonijiet. Il-granit għandu densità għolja u tessut iebes, u għandu proprjetajiet ta' damping eċċellenti, b'proporzjon ta' damping minn darbtejn sa ħames darbiet dak tal-metalli. Meta l-vibrazzjonijiet esterni jiġu trażmessi lill-bażi tal-granit, il-frizzjoni bejn il-kristalli minerali interni tikkonverti l-enerġija tal-vibrazzjoni f'enerġija tas-sħana għad-dissipazzjoni, li tista' tnaqqas b'mod sinifikanti l-vibrazzjoni fi żmien qasir, u b'hekk il-magna tal-fotolitografija tirrestawra malajr l-istabbiltà u tevita t-tċajpir jew l-allinjament ħażin tal-mudell tal-fotolitografija minħabba l-vibrazzjoni.
Stabbiltà kimika: Il-"Gwardjan" ta' Ambjent Nadif
L-intern ta' magna tal-fotolitografija jiġi f'kuntatt ma' diversi mezzi kimiċi, u materjali tal-metall ordinarji huma suxxettibbli għall-korrużjoni jew għar-rilaxx ta' partiċelli. Il-granit huwa magħmul minn minerali bħall-kwarz u l-feldspar. Għandu proprjetajiet kimiċi stabbli u reżistenza qawwija għall-korrużjoni. Wara li jkun mgħaddas f'soluzzjonijiet ta' aċidu u alkali, il-korrużjoni tal-wiċċ hija estremament żgħira. Sadanittant, l-istruttura densa tiegħu tiġġenera kważi l-ebda debris jew trab, tissodisfa r-rekwiżiti tal-ogħla standards ta' kamra nadifa u tnaqqas ir-riskju ta' kontaminazzjoni tal-wejfer.
Adattabilità tal-ipproċessar: Il-"materjal ideali" għall-ħolqien ta' parametri referenzjarji preċiżi
Il-komponenti ewlenin tal-magna tal-fotolitografija jeħtieġ li jiġu installati fuq wiċċ ta' referenza ta' preċiżjoni għolja. L-istruttura interna tal-granit hija uniformi u huwa faċli biex jiġi pproċessat għal preċiżjoni għolja ħafna permezz tat-tħin, il-lostru u tekniki oħra. Il-flatness tiegħu jista' jilħaq ≤0.5μm/m, u l-ħruxija tal-wiċċ Ra hija ≤0.05μm, li tipprovdi bażi ta' installazzjoni preċiża għal komponenti bħal lentijiet ottiċi.
Ħajja twila u mingħajr manutenzjoni: L-"għodda li taqta'" għat-tnaqqis tal-ispejjeż
Meta mqabbel ma' materjali tal-metall li huma suxxettibbli għall-għeja u l-qsim wara użu fit-tul, il-granit bilkemm jgħaddi minn deformazzjoni plastika jew ksur taħt tagħbijiet normali, u ma jeħtieġx trattament tal-wiċċ, u b'hekk jevita r-riskju ta' tqaxxir u kontaminazzjoni tal-kisi. F'applikazzjonijiet prattiċi, wara li jintuża għal ħafna snin, l-indikaturi ewlenin tal-prestazzjoni tal-bażi tal-granit xorta jistgħu jibqgħu stabbli, u b'hekk jitnaqqsu l-ispejjeż tat-tħaddim u l-manutenzjoni tat-tagħmir.
Mill-istabbiltà termali, ir-reżistenza għall-vibrazzjoni sal-inerzja kimika, il-karatteristiċi multipli tal-bażi tal-granit jissodisfaw perfettament ir-rekwiżiti tal-magna tal-fotolitografija. Hekk kif il-proċess tal-manifattura taċ-ċippa jkompli jiżviluppa lejn preċiżjoni ogħla, il-bażijiet tal-granit se jkomplu jkollhom rwol insostitwibbli fil-qasam tal-manifattura tas-semikondutturi.
Ħin tal-posta: 20 ta' Mejju 2025