Fil-qasam tal-manifattura ta' kwalità għolja u r-riċerka xjentifika avvanzata, il-modulu tal-moviment ultra-preċiżjoni tal-float tal-arja sar tagħmir ewlieni għal tħaddim u kejl fin bil-prestazzjoni eċċellenti ta' preċiżjoni tiegħu. Il-bażi ta' preċiżjoni tal-granit, bħala l-qalba ta' appoġġ, għandha rekwiżiti stretti għall-ambjent tax-xogħol, u l-kundizzjonijiet ambjentali xierqa huma l-bażi biex jiżguraw il-prestazzjoni stabbli tiegħu u l-aħjar effett.
L-ewwel, kontroll tat-temperatura: "stabilizzatur" ta' preċiżjoni
Għalkemm il-granit huwa magħruf għall-istabbiltà tiegħu, mhuwiex kompletament immuni għall-bidliet fit-temperatura. Għalkemm il-koeffiċjent ta' espansjoni termali tiegħu huwa baxx, ġeneralment 5-7 ×10⁻⁶/℃, f'xenarji ta' kontroll tal-moviment ultra-preċiżjoni, varjazzjonijiet sottili fit-temperatura xorta jistgħu jikkawżaw bidliet dimensjonali u jaffettwaw il-preċiżjoni tal-modulu. Fil-workshop tal-manifattura taċ-ċippa tas-semikondutturi, il-proċess tal-litografija jeħtieġ preċiżjoni ta' pożizzjonament fil-livell tad-danami, u t-temperatura ambjentali tvarja b'1°C, u l-bażi tal-granit b'tul tal-ġenb ta' metru tista' tipproduċi espansjoni jew kontrazzjoni lineari ta' 5-7 mikroni. Din il-bidla żgħira hija trażmessa mill-modulu tal-moviment ultra-preċiżjoni tal-float tal-arja, li huwa biżżejjed biex jagħmel id-devjazzjoni tal-mudell tal-litografija taċ-ċippa u jnaqqas ħafna r-rendiment. Għalhekk, mgħammar b'bażi ta' preċiżjoni tal-granit tal-modulu tal-moviment ultra-preċiżjoni li jżomm f'wiċċ l-arja, it-temperatura ideali tal-ambjent tax-xogħol għandha tkun ikkontrollata f'20 °C ±1 °C, bl-għajnuna ta' tagħmir ta' temperatura kostanti ta' preċiżjoni għolja, bħal sistema ta' arja kondizzjonata b'temperatura u umdità kostanti, monitoraġġ u aġġustament kontinwu tat-temperatura ambjentali, biex jiġi żgurat li l-varjazzjonijiet fit-temperatura f'firxa żgħira ħafna, iżommu l-istabbiltà tad-daqs tal-bażi, biex jiżguraw li l-modulu jaħdem b'preċiżjoni għolja.
It-tieni, il-ġestjoni tal-umdità: iċ-ċavetta għall-protezzjoni kontra l-umdità tal-"ġebla"
L-umdità hija fattur importanti ieħor li jaffettwa l-prestazzjoni tal-bażi tal-granit ta' preċiżjoni. F'ambjent ta' umdità għolja, il-granit jassorbi l-fwar tal-ilma faċilment, li jista' jwassal għal kondensazzjoni fuq il-wiċċ, li mhux biss taffettwa l-istabbiltà tal-konnessjoni tal-granit u l-modulu tal-moviment ultra-preċiżjoni tal-float tal-arja, iżda tista' wkoll tikkawża erożjoni tal-wiċċ u tnaqqas it-tleqqija u l-preċiżjoni fit-tul. Fil-workshop tat-tħin tal-lentijiet ottiċi, jekk l-umdità tkun ogħla minn 60% RH għal żmien twil, il-fwar tal-ilma assorbit fuq il-wiċċ tal-bażi tal-granit jinterferixxi mal-moviment tas-slider tal-float tal-gass, sabiex il-preċiżjoni tat-tħin tal-lenti titnaqqas, u l-wiċċ ikun difettuż. Għalhekk, l-umdità relattiva tal-ambjent tax-xogħol għandha tkun ikkontrollata b'mod strett bejn 40%-60% RH, li tista' tiġi mmonitorjata u aġġustata f'ħin reali billi jiġu installati dehumidifikaturi, sensuri tal-umdità u tagħmir ieħor biex tiġi evitata ħsara lill-bażi tal-granit minħabba umdità għolja, u jiġi żgurat it-tħaddim bla xkiel tal-modulu tal-moviment ultra-preċiżjoni tal-float tal-arja.
It-tielet, garanzija tal-indafa: il-"gwardjan" tal-preċiżjoni
Il-ħsara tal-partiċelli tat-trab lill-bażi tal-granit ta' preċiżjoni tal-modulu tal-moviment ultra-preċiżjoni tal-flotazzjoni tal-arja ma tistax tiġi sottovalutata. Ladarba l-partiċelli ċkejkna jidħlu fid-distakk tal-film tal-gass bejn is-slider tal-galleġġjant tal-gass u l-bażi tal-granit, jistgħu jeqirdu l-uniformità tal-film tal-gass, iżidu l-frizzjoni, u saħansitra jobrox il-wiċċ tal-bażi, u dan jirriżulta fi tnaqqis fil-preċiżjoni tal-moviment. Fil-workshop tal-magni ultra-preċiżjoni tal-partijiet aerospazjali, jekk il-partiċelli tat-trab fl-arja jaqgħu fuq il-bażi tal-granit, it-trajettorja tal-moviment tal-għodda tal-magni tista' tiġi devjata, u taffettwa l-preċiżjoni tal-magni tal-partijiet. Għalhekk, iż-żona tax-xogħol għandha tinżamm nadifa ħafna, u tilħaq 10,000 jew saħansitra livelli ogħla ta' standards ta' ndafa, permezz tal-installazzjoni ta' tagħmir ta' purifikazzjoni tal-arja, bħal filtri tal-arja ta' effiċjenza għolja (HEPA), jiffiltraw il-partiċelli tat-trab fl-arja, fl-istess ħin, il-persunal jeħtieġ li jilbes ħwejjeġ ħielsa mit-trab, għata taż-żraben, eċċ., biex inaqqas it-trab li jġib il-bnedmin. Żomm ambjent operattiv ta' preċiżjoni għolja tal-bażi tal-granit u l-modulu tal-moviment ultra-preċiżjoni tal-galleġġjant tal-arja.
Erbgħa, iżolament tal-vibrazzjoni: tħaddim bla xkiel tal-"kuxxinett tax-xokk"
Il-vibrazzjoni esterna hija l-għadu tal-preċiżjoni tal-modulu tal-moviment ultra-preċiżjoni tal-float tal-arja. Għalkemm il-bażi tal-granit ta' preċiżjoni għandha ċerta kapaċità ta' attenwazzjoni tal-vibrazzjoni, il-vibrazzjoni ta' saħħa għolja xorta tista' tikser il-limitu tal-buffer tagħha. Il-vibrazzjoni ġġenerata mit-traffiku madwar il-fabbrika u t-tħaddim ta' tagħmir mekkaniku kbir hija trażmessa lill-bażi tal-granit permezz tal-art, li se tinterferixxi mal-preċiżjoni tal-moviment tal-modulu tal-moviment ultra-preċiżjoni tal-float tal-arja. Fis-CMM high-end, il-vibrazzjoni tista' tikkawża li l-kuntatt bejn is-sonda tal-kejl u l-biċċa tax-xogħol li trid titkejjel ikun instabbli, u dan jirriżulta f'devjazzjoni tad-dejta tal-kejl. Sabiex tissolva din il-problema, huwa meħtieġ li jiġu adottati miżuri effettivi ta' iżolament tal-vibrazzjoni, bħat-tqegħid ta' pads ta' iżolament tal-vibrazzjoni fiż-żona tal-installazzjoni tat-tagħmir, il-bini ta' pedament ta' iżolament tal-vibrazzjoni, jew l-użu ta' sistema attiva ta' iżolament tal-vibrazzjoni biex tikkumpensa b'mod attiv il-vibrazzjoni esterna, u toħloq ambjent tax-xogħol kwiet u stabbli għall-bażi tal-granit ta' preċiżjoni u l-modulu tal-moviment ultra-preċiżjoni tal-float tal-arja.
Huwa biss billi tissodisfa bis-sħiħ ir-rekwiżiti ambjentali tat-temperatura, l-umdità, l-indafa u l-kontroll tal-vibrazzjoni li l-bażi tal-granit ta' preċiżjoni tal-modulu tal-moviment ultra-preċiżjoni tal-float tal-arja tista' tagħti rwol sħiħ lill-vantaġġi tal-prestazzjoni tagħha, tipprovdi garanzija affidabbli għal operazzjonijiet ultra-preċiżjoni f'diversi oqsma, u tgħin lill-industrija timxi lejn livell ogħla ta' manifattura ta' preċiżjoni u riċerka xjentifika.
Ħin tal-posta: 08 ta' April 2025