Il-pjattaforma tal-granit, bħala għodda ta' referenza għal kejl u pproċessar preċiżi, il-manutenzjoni tal-eżattezza tagħha taffettwa direttament il-kwalità tal-produzzjoni. Dan li ġej jipprovdi pjan ta' manutenzjoni sistematika li jkopri l-kontroll ambjentali, il-manutenzjoni ta' kuljum u l-kalibrazzjoni professjonali biex jiżgura li l-pjattaforma żżomm preċiżjoni fil-livell tan-nanometru għal żmien twil.
1. Kontroll Ambjentali: Ibni barriera ta' protezzjoni ta' preċiżjoni
Ġestjoni tat-temperatura u l-umdità
It-temperatura tal-ambjent tax-xogħol trid tkun stabbilizzata għal 20±1℃. Kull varjazzjoni ta' 1℃ tikkawża deformazzjoni termali tal-pjattaforma tal-granit b'0.5-1μm/m. Sistema ta' temperatura kostanti tista' tiġi installata fil-garaxx biex tevita li l-ħruġ tal-arja kondizzjonata jonfoħ direttament fuq il-pjattaforma.
L-umdità għandha tkun ikkontrollata bejn 40% u 60%. Umdità eċċessiva tista' faċilment tikkawża sadid fuq il-partijiet tal-metall, filwaqt li umdità baxxa wisq tista' twassal għal interferenza tal-elettriku statiku fil-kejl.
Iżolament tal-vibrazzjoni
Il-pjattaforma għandha tinżamm 'il bogħod minn sorsi ta' vibrazzjoni bħal magni tal-istampar u magni tat-tħin. Huwa rakkomandat li tinżamm distanza ta' aktar minn 3 metri mit-tagħmir tal-vibrazzjoni.
Jekk il-vibrazzjoni ma tistax tiġi evitata, jistgħu jiġu installati shock absorbers tal-molla tal-arja fil-qiegħ tal-pjattaforma biex jitnaqqas l-impatt tal-vibrazzjoni ambjentali fuq il-livell tal-pjattaforma (li jista' jnaqqas il-vibrazzjoni esterna b'aktar minn 80%).
2. Manutenzjoni ta' Kuljum: Kontroll metikoluż mit-tindif sal-protezzjoni
Speċifikazzjoni tat-tindif tal-wiċċ
Tneħħija tat-trab: Imsaħ il-wiċċ b'ċarruta tal-ġilda taċ-ċerv jew b'ċarruta mingħajr suf fl-istess direzzjoni kuljum biex tevita li l-partiċelli tat-trab (≥5μm) iqarrqu l-pjattaforma. Tbajja' iebsa jistgħu jintmesħu bil-mod b'etanol anidru (purità ≥99.7%). Solventi qawwija bħall-aċetun m'għandhomx jintużaw.
Tneħħija tax-xaħam: Jekk jiġi f'kuntatt ma' tbajja' taż-żejt, imsaħ b'tindif newtrali dilwit, imbagħad laħlaħ b'ilma dejonizzat u nixxef bl-arja biex tevita li ż-żejt minerali jippenetra l-pori ċkejkna tal-pjattaforma.
Protezzjoni mit-tagħbija u l-ħabtiet
Il-kapaċità li ġġorr it-tagħbija tal-pjattaforma għandha tkun ikkontrollata sa 70% tat-tagħbija nominali (pereżempju, għal pjattaforma ta' 1000kg, huwa rakkomandat li t-tagħbija tkun ≤700kg) biex tiġi evitata deformazzjoni permanenti kkawżata minn tagħbija żejda lokali.
Huwa strettament ipprojbit li tolqot il-biċċiet tax-xogħol fuq il-pjattaforma. Meta timmaniġġja l-għodda, ilbes ingwanti rotob biex tevita li oġġetti li jaqtgħu tobrox il-wiċċ (grif b'fond akbar minn 20μm jaffettwa l-kejl tal-mogħdija tad-dawl riflessa).
3. Kalibrazzjoni Professjonali: Il-Qalba taż-żamma xjentifika tal-eżattezza
Issettjar taċ-ċiklu tal-kalibrazzjoni
Xenarji ta' użu konvenzjonali: Ikkalibra darba kull tliet xhur u uża interferometru tal-lejżer biex tiskopri l-flatness (bi preċiżjoni ta' ±0.5μm/m).
Użu ta' frekwenza għolja jew ambjenti ħorox: Kalibrazzjoni ta' kull xahar, b'enfasi fuq il-monitoraġġ ta' żoni sensittivi għat-temperatura (bħat-tarf tal-pjattaforma ħdejn sorsi tas-sħana).
Ipproċessar ta' wara l-kalibrazzjoni
Jekk tinstab devjazzjoni tal-flatness (bħal > ±1μm/m), din trid tiġi mgħottija u msewwija minn tekniku professjonali bl-użu ta' mikro-trab W1.5. It-tħin awtomatiku b'karta tal-ħsad huwa strettament ipprojbit.
Wara l-kalibrazzjoni, id-dejta għandha tiġi rreġistrata u arkivjata, u għandha tiġi stabbilita kurva ta' attenwazzjoni tal-eżattezza tal-pjattaforma biex jiġu mbassra r-rekwiżiti tal-manutenzjoni minn qabel.
4. Ħażna u Trasport: Evita telf ta' preċiżjoni moħbi
Punti ewlenin għall-ħażna fit-tul
Meta tinħażen, għandha tkun mgħottija b'għatu li ma jgħaddix umdità u trab. Il-qiegħ għandu jkun appoġġjat minn tliet punti (il-punt ta' appoġġ jinsab f'2/9 tat-tul tal-pjattaforma) biex tiġi evitata d-deformazzjoni tal-liwi kkawżata mill-gravità (pjattaforma ta' metru tista' tinżel b'0.3μm minħabba appoġġ fit-tul minn punt wieħed).
Mexxi l-pożizzjoni tal-punti ta' appoġġ tal-pjattaforma regolarment (kull xahar) biex tevita pressjoni lokali fit-tul.
Pjan ta' protezzjoni tat-trasport
Trasport fuq distanzi qosra: Kebbeb b'fowm li jassorbi x-xokkijiet, waħħal ġo qafas riġidu, u żomm l-aċċelerazzjoni fi żmien 2g.
Trasport fuq distanzi twal: Jeħtieġ li jiġi ppakkjat bil-vakwu u mimli b'nitroġenu niexef. Wara l-wasla, għandu jitħalla joqgħod għal 24 siegħa sakemm it-temperatura tilħaq l-ekwilibriju qabel ma jinfetaħ mill-ippakkjar biex jiġi evitat li l-ilma tal-kondensazzjoni jaffettwa l-eżattezza.
5. Tbassir ta' Ħsarat: Tekniki għall-Identifikazzjoni ta' Problemi Bikrija
Spezzjoni viżwali: Osserva l-wiċċ regolarment b'lenti li tkabbar 40x. Jekk jinstabu grif kontinwu jew tnaqqis sinifikanti fil-leqqija, dan jista' jindika tnaqqis fil-preċiżjoni.
Sejbien tal-ħoss: Tektek il-pjattaforma bil-mod. Jekk il-ħoss isir raħxi (normalment għandu jkun ħoss ċar), jista' jkun hemm mikro-xquq ġewwa. Waqqaf l-użu immedjatament għad-detezzjoni.
Permezz ta’ din is-sistema ta’ manutenzjoni, il-pjattaforma tal-granit ZHHIMG® tista’ żżomm ċattità ta’ ±1μm/m għal 10 snin, li hija aktar minn tliet darbiet itwal mill-ħajja ta’ preċiżjoni ta’ pjattaformi li mhumiex miżmuma kif suppost. Il-prattika wriet li wara li ċerta fabbrika tas-semikondutturi adottat din is-soluzzjoni, il-frekwenza tal-kalibrazzjoni tal-pjattaforma tnaqqset b’50%, u l-ispiża annwali tal-manutenzjoni ġiet iffrankata b’aktar minn 150,000 wan.
Ħin tal-posta: 18 ta' Ġunju 2025