L-ewwel, il-vantaġġi tal-bażi tal-granit
Riġidità għolja u deformazzjoni termali baxxa
Id-densità tal-granit hija għolja (madwar 2.6-2.8 g/cm³), u l-modulu ta' Young jista' jilħaq 50-100 GPa, ferm ogħla minn dak tal-materjali tal-metall ordinarji. Din ir-riġidità għolja tista' tinibixxi b'mod effettiv il-vibrazzjoni esterna u d-deformazzjoni tat-tagħbija, u tiżgura l-flatness tal-gwida tal-float tal-arja. Fl-istess ħin, il-koeffiċjent ta' espansjoni lineari tal-granit huwa baxx ħafna (madwar 5×10⁻⁶/℃), biss 1/3 tal-liga tal-aluminju, kważi l-ebda deformazzjoni termali fl-ambjent tal-varjazzjoni tat-temperatura, speċjalment adattat għal laboratorji b'temperatura kostanti jew xeni industrijali b'differenza kbira fit-temperatura bejn il-jum u l-lejl.
Prestazzjoni eċċellenti ta' damping
L-istruttura polikristallina tal-granit tagħmilha b'karatteristiċi ta' damping naturali, u l-ħin ta' attenwazzjoni tal-vibrazzjoni huwa 3-5 darbiet aktar mgħaġġel minn dak tal-azzar. Fil-proċess ta' makkinar ta' preċiżjoni, tista' tassorbi b'mod effettiv vibrazzjoni ta' frekwenza għolja bħal bidu u waqfien tal-mutur, qtugħ tal-għodda, u tevita l-influwenza tar-reżonanza fuq il-preċiżjoni tal-pożizzjonament tal-pjattaforma li tiċċaqlaq (valur tipiku sa ±0.1μm).
Stabbiltà dimensjonali fit-tul
Wara mijiet ta' miljuni ta' snin ta' proċessi ġeoloġiċi li ffurmaw il-granit, l-istress intern tiegħu ġie rilaxxat kompletament, mhux bħal materjali tal-metall minħabba l-istress residwu kkawżat minn deformazzjoni bil-mod. Id-dejta sperimentali turi li l-bidla fid-daqs tal-bażi tal-granit hija inqas minn 1 μm/m matul il-perjodu ta' 10 snin, li hija sinifikament aħjar minn dik tal-ħadid fondut jew tal-azzar iwweldjat.
Reżistenti għall-korrużjoni u mingħajr manutenzjoni
Il-granit għandu tolleranza qawwija għall-aċidu u l-alkali, iż-żejt, l-umdità u fatturi ambjentali oħra, u m'hemmx bżonn li s-saff kontra s-sadid jiġi miksi regolarment daqs il-bażi tal-metall. Wara t-tħin u l-illustrar, il-ħruxija tal-wiċċ tista' tilħaq Ra 0.2μm jew inqas, li tista' tintuża direttament bħala l-wiċċ tal-irfigħ tal-gwida tal-galleġġjant tal-arja biex jitnaqqsu l-iżbalji fl-assemblaġġ.
It-tieni, il-limitazzjonijiet tal-bażi tal-granit
Diffikultà fl-ipproċessar u problema fl-ispejjeż
Il-granit għandu ebusija Mohs ta' 6-7, li teħtieġ l-użu ta' għodda tad-djamanti għat-tħin ta' preċiżjoni, l-effiċjenza tal-ipproċessar hija biss 1/5 ta' dik tal-materjali tal-metall. L-istruttura kumplessa tal-kanal tad-denb tad-dovetail, it-toqob bil-kamin u karatteristiċi oħra tal-ispiża tal-ipproċessar hija għolja, u ċ-ċiklu tal-ipproċessar huwa twil (pereżempju, l-ipproċessar ta' pjattaforma ta' 2m × 1m jieħu aktar minn 200 siegħa), li jirriżulta fl-ispiża ġenerali li hija 30%-50% ogħla mill-pjattaforma tal-liga tal-aluminju.
Riskju ta' ksur fraġli
Għalkemm is-saħħa kompressiva tista' tilħaq il-200-300MPa, is-saħħa tat-tensjoni tal-granit hija biss 1/10 tagħha. Il-ksur fraġli huwa faċli li jseħħ taħt tagħbija ta' impatt estrema, u l-ħsara hija diffiċli biex tissewwa. Huwa meħtieġ li tiġi evitata l-konċentrazzjoni tal-istress permezz tad-disinn strutturali, bħall-użu ta' tranżizzjonijiet tal-kantunieri ttundjati, iż-żieda fin-numru ta' punti ta' appoġġ, eċċ.
Il-piż iġib miegħu limitazzjonijiet tas-sistema
Id-densità tal-granit hija 2.5 darbiet dik tal-liga tal-aluminju, li tirriżulta f'żieda sostanzjali fil-piż totali tal-pjattaforma. Dan ipoġġi rekwiżit ogħla fuq il-kapaċità tal-ġarr tal-istruttura ta' appoġġ, u l-prestazzjoni dinamika tista' tiġi affettwata minn problemi ta' inerzja f'xenarji li jeħtieġu moviment b'veloċità għolja (bħall-mejda tal-wejfer tal-litografija).
Anisotropija tal-materjal
Id-distribuzzjoni tal-partiċelli minerali tal-granit naturali hija direzzjonali, u l-ebusija u l-koeffiċjent tal-espansjoni termali ta' pożizzjonijiet differenti huma kemxejn differenti (madwar ± 5%). Dan jista' jintroduċi żbalji mhux negliġibbli għal pjattaformi ta' ultra-preċiżjoni (bħal pożizzjonament fuq skala nanometrika), li jeħtieġ li jittejbu permezz ta' għażla stretta tal-materjal u trattament ta' omoġenizzazzjoni (bħal kalċinazzjoni f'temperatura għolja).
Bħala l-komponent ewlieni ta' tagħmir industrijali ta' preċiżjoni għolja, pjattaforma ta' preċiżjoni statika li żżomm l-arja f'wiċċ l-ilma tintuża ħafna fil-manifattura tas-semikondutturi, l-ipproċessar ottiku, il-kejl ta' preċiżjoni u oqsma oħra. L-għażla tal-materjal bażi taffettwa direttament l-istabbiltà, l-eżattezza u l-ħajja tas-servizz tal-pjattaforma. Il-granit (granit naturali), bil-proprjetajiet fiżiċi uniċi tiegħu, sar materjal popolari għal bażijiet ta' pjattaformi bħal dawn f'dawn l-aħħar snin.
Ħin tal-posta: 09 ta' April 2025